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172nm准分子灯
广明源光科技股份有限公司
是
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172nm MINI 实验模组
广明源作为专业172nm准分子光应用方案提供商,可为客户提供全流程定制化应用解决方案与实验委托服务,覆盖光清洗、光固化、表面改性等多种应用场景,助力高效推进工艺研发与验证项目。
172nm MINI实验模组专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产打造,采用高集成轻量化设计,体积仅相当于一本书,结构简洁,性价比高。设备即放即用,便于携带,轻松适配多种实验环境,助力高校、企业及科研机构高效搭建准分子光实验平台,广泛应用于平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发项目。
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