172nm高能光清洗机

提高半导体或电池等元器件的性能

产品特点：

• 高速清洗：10倍于低压灯的清洗速度；

• 可以单独开关：允许单独开关每一支灯，能保证灯管的寿命；

• 低温运行：防止热损伤，表面温度不超40℃ ;

• 低能耗：比汞灯少65%的能量；

• 省空间：采用小型电源支持整个系统；

• 便于维护：易清理和维护，快速交换灯管；

• 匀度高：照射区域内±15% 的匀度增加了稳定性。

产品参数：

• 产品型号：EX-C300

• 总功率：＜400W

• 输入电压：AC220V

• 氮气输入：30Lpm

• 照度（距离被照度8mm）：＞45 mW/cm²

• 工作温度：-5℃~50℃

• 工作湿度：20%~80%

• 冷却方式：循环水冷却（25℃）

• 使用寿命：1000hrs