展会邀约 | 广明源携172nm准分子解决方案，亮相第27届中国光博览会&国际集成电路创新博览会

2026年9月9-11日，第27届中国国际光电博览会、IICIE国际集成电路创新博览会以及elexcon第23届深圳国际电子展暨嵌入式展将在深圳国际会展中心（宝安）同期举办。本届三展联动，共同打造集技术展示、行业交流与商业合作于一体的国际化高端产业平台。

本次展会，广明源将携172nm准分子系列产品及光科技解决方案，在深圳国际会展中心（宝安）14C108展位重磅亮相。诚邀各界合作伙伴、行业专家莅临参观指导，共同探讨光科技在半导体、光电显示、纯水处理等领域的创新应用！

展品预览:以光科技赋能高端制造

广明源172nm准分子光源及模组，已在光清洗、光固化、光改性以及纯水处理总有机碳（TOC）降解等场景中展现出突出的应用优势。作为172nm准分子光源的国产供应商，广明源可为广大客户提供核心部件、模组及定制化解决方案：

172nm准分子光源

具备高光效、窄波宽特性，能量集中度高且输出性能稳定。采用非接触式冷光源技术，无热应力损伤，适配各类热敏材料的精密工艺加工处理。

172nm准分子模组

172nm MINI实验模组

专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产打造，具备结构紧凑、便于部署、灵活可移、成本可控等特点。

晶圆光清洗模组

专为晶圆基材光清洗设计，可高效去除纳米级有机污染物，提升后续镀膜、键合工艺成品良率，保障制程精度与稳定性。

高能紫外仪

适配实验验证与应用开发，有效产品缩短验证周期，加速技术成果落地，适用于光清洗、光固化及光改性等领域。

9月9-11日，深圳国际会展中心（宝安）14C108展位，广明源期待与您面对面交流，对接需求，共同解锁172nm准分子光科技赋能产业升级的新机遇！