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9 月 9 日，第27届中国国际光电博览会（CIOE）、国际集成电路创新博览会（IICIE）、elexcon深圳国际电子展暨嵌入式展三展联动，在深圳国际会展中心盛大启幕。广明源亮相14C108 展位，带来 172nm 准分子系列及 RTP 系统解决方案，诚邀各界同仁莅临展位交流合作，共探光电技术国产化创新路径。
READ MORE 2026年9月9-11日，广明源将携172nm准分子系列产品及光科技解决方案，在深圳国际会展中心（宝安）14C108展位重磅亮相。诚邀各界合作伙伴、行业专家莅临参观指导，共同探讨光科技在半导体、光电显示、纯水处理等领域的创新应用！
READ MORE 针对高端制造传统湿法清洗易留化学残留、损伤精密器件，且纳米级有机污染难以清理的痛点，172nm准分子干式清洗技术可有效破解难题。该真空紫外光能量高，可直接断裂有机物分子键，同时激发空气产生活性氧，通过光化学反应彻底分解单分子级有机污染物，实现原子级洁净度。其还能对材料表面亲水活化，大幅降低水滴接触角，提升基材附着力。该技术适配半导体、光电显示、精密材料、医疗部件等多类高端场景，国产广明源可提供全链路解决方案，助力企业降本增效、实现工艺升级。
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广明源自主研发172nm晶圆光清洗模组，突破半导体国产替代瓶颈，采用非接触式准分子紫外光技术，精准分解12寸晶圆表面纳米级有机污染物及光刻胶残留，避免热应力损伤。172nm准分子灯（平板/网状电极圆管）适用于半导体晶圆清洗与去胶、光学透镜清洁、TFT/OLED的TFT生产（去除光刻胶残留）以及高精度PCB表面处理。作为国产172nm准分子光源核心供应商，提供定制化清洗解决方案，推动半导体晶圆光清洗设备国产化，保障产业链安全稳定。
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2024亚洲水技术展览会将于12月11-13日在上海新国际博览中心盛大开幕。广明源诚挚邀请您莅临N1A65展位，共同探讨光科技在水行业的多元化应用，共襄行业盛会！
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