9月4日至6日，第十三届半导体设备与核心部件及材料展（CSEAC 2025）将在无锡太湖国际博览中心举行。本届展会以“做强中国芯，拥抱芯世界”为主题，汇聚国内外领先企业和前沿技术，是我国半导体设备与核心部件及材料领域的重要年度平台，集“技术交流、展览展示、产品发布、经贸洽谈、国际合作及市场拓展”于一体的产业盛宴。

广明源将携 172nm准分子光源与模组设备亮相本届展会，重点展示在晶圆清洗、表面改性、超纯水 TOC 处理及工艺验证开发等关键环节的应用。诚挚邀请您莅临广明源展位（B1-219），与我们深入交流，共同探讨产业前沿与合作机遇。

展品预览

172nm准分子光源

光清洗

通过172nm高能紫外线激发自由基，氧化分解表面有机物，达到原子级洁净度。

表面改性

在材料表面引入-OH极性基团，提升表面能与亲水性，改善后续工艺粘附效果。

纯水处理TOC 降解

利用172nm紫外氧化技术，将水中的有机物高效降解为CO₂和H₂O，TOC水平可降低至ppb级。

光固化

高能光子快速引发聚合反应，实现材料表面高效固化，具备速度快、能耗低、环保等优势。

172nm准分子模组及设备

172nm MINI实验模组

专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产设计，具备结构紧凑、便于部署、灵活可移、成本可控等特点，适用于多种实验环境及工艺验证需求。

高能紫外仪

该模组支持实验验证与应用开发，大幅缩短验证周期，加速成果落地，适用于光清洗、光固化及光改性等领域。

晶圆光清洗模组

该模组专为晶圆基材光清洗设计，可高效去除纳米级有机污染物，提升后续镀膜/键合工艺良率。

全流程定制方案支持

围绕高端制造制程工艺需求，提供172nm 准分子光源与模组的定制化服务，覆盖从实验验证到量产应用的不同阶段，助力实现更高效、更可靠的工艺方案。

广明源期待与您在 CSEAC 2025 相聚，共同交流前沿技术，分享实践经验，携手探索更多合作机会。