172nm准分子光

专为工业制造及科研实验而设计，提供高效可靠的光科技应用解决方案。

产品类别

172nm紫外线光科技应用方案

广明源专注于172nm 准分子灯及相关设备的研发与制造，涵盖光清洗、光固化、光改性、纯水处理及挥发性有机物处理等多个关键领域。依托专业的流水线设备设计与定制能力，广明源可根据不同需求，提供高端制造制程所需的172nm准分子光核心光部件、模组及设备，覆盖从实验机到大规模流水线生产的全方位解决方案，满足各个阶段的生产要求。依托光科技的持续研发创新，广明源致力于助力半导体、显示屏、纯水处理等高精尖产业的高质量发展。

光清洗

光固化

光改性

纯水制备TOC降解

172nm 准分子光清洗解决方案

172nm紫外线光清洗解决方案是利用有机化合物的光复合作用，去除黏附在材料表面的有机物，经过光清洗后的材料表面可以达到“原子清洁度”。

172nm 准分子灯（光清洗）

172nm 准分子光固化解决方案

光固化解决方案采用高能量172nm准分子光源实现材料的快速固化。相比传统紫外线固化技术，该技术不仅缩短了固化时间，还能更精准的控制表面功能性固化并实现优异的表面固化效果。

172nm准分子灯（光固化）

172nm 准分子光改性解决方案

光改性解决方案利用172nm准分子光源对材料表面进行改性处理，提升材料的表面亲水性、耐腐蚀性或其他特性。

172nm 光改性模组

纯水处理TOC降解解决方案

TOC纯水处理方案通过辐射高能172nm准分子光，高效快速降解水中总有机碳（TOC）含量至ppb级别，满足超纯水质量标准。

172nm准分子灯（TOC降解）

应用领域

172nm准分子光清洗

显示器基板、半导体硅晶圆、集成电路、光学器件、LCD、电子纸、AR 镜片以及微纳制造等材料的清洗。

172nm准分子光固化

隐形车衣、肤感板、涂装设备、纸质油墨、包装油墨、家具油墨、汽车油墨及汽车相关涂料、色漆清漆、PBC 油墨、涂覆粘接及 3D 打印等材料的固化。

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172nm准分子光改性

牙科种植体亲水改性、电池材料改性、钛金属、硅片、铝箔、ITO玻璃基板及各种塑料材料的改性。

172nm纯水制备和TOC降解

超纯水生产的总有机碳（TOC）去除、饮用水中微污染物处理、农药残留物分解、纺织染料废水的光催化脱色、高纯度臭氧生成等。

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应用实例

产品特性亮点

172nm准分子灯利用稀有气体或稀有气体卤化物在高能电子激发下产生的放电等离子体，发出特定波长的VUV光。这种光具有高能量和高穿透力，适用于多种高精度工业应用。

高光子能量

172nm准分子灯提供高能量光子，

适用于深度表面处理和精细加工。

高端制造光源

适用于光清洗、光固化、光改性、纯水处理

及挥发性有机物处理等多个关键领域。

低温辐射

提供低温加工环境，保护敏感材料，

避免热损伤。

瞬时开关

快速启动和关闭，提高生产效率，降低能耗。

环保无汞

无汞设计，符合环保标准，保障操作人员健康。

易于集成

简化设备集成过程，适应不同设备的需求。

172nm 准分子灯 - 光清洗

广明源光清洗技术基于光化学氧化原理，通过照射172nm紫外线在有机物表面产生自由基，带自由基的有机物和氧自由基碰撞形成氧化反应，将有机物氧化为水和二氧化碳，从而有效去除物质表面附着的有机物广明源紫外线光清洗技术作为一种创新光化学方法，集绿色环保高效可靠等优点于一体，经过光清洗后的材料表面可以达到“原子清洁度”

172nm 准分子光源-光固化

广明源准分子光固化技术的核心原理，通过准分子灯产生的172nm紫外光发出高能辐射，使得分子键断裂，并促进不同单体分子之间的交联反应，实现材料的功能性固化。相较于传统紫外线固化技术，172nm准分子光固化具备精准控制表面功能性固化的能力，同时具有固化速度快、高效环保、经济节能以及性能优越等优点。

172nm 准分子灯-总有机碳降解

纯水TOC降解处理是一种高效去除水中有机物的方法，而高能紫外线的辐照处理是在获得超纯水的处理工序中至关重要的一步。广明源172nm紫外氧化处理技术是利用先进的无汞紫外光技术发射高能172nm紫外光，促使水体中生成自由基，进而将有机物氧化为二氧化碳(CO2)和水(H2O)分子，实现高效快速地降解TOC，从而将水中TOC含量降低到ppb级别。

172nm MINI 实验模组

广明源作为专业172nm准分子光应用方案提供商，可为客户提供全流程定制化应用解决方案与实验委托服务，覆盖光清洗、光固化、表面改性等多种应用场景，助力高效推进工艺研发与验证项目。

172nm MINI实验模组专为半导体工艺研发、制程验证及小批量试产打造，采用高集成轻量化设计，体积仅相当于一本书，结构简洁，性价比高。设备即放即用，便于携带，轻松适配多种实验环境，助力高校、企业及科研机构高效搭建准分子光实验平台，广泛应用于平板显示光清洗、塑料表面改性等多领域研发项目。

172nm高能紫外仪

172nm高能紫外设备可对金属材料和硅基材料表面的有机颗粒进行高能分解与清洁，以提升半导体或电池的性能。该设备利用172nm高能紫外光子打破有机分子的化学键，将其分解为更小的分子或原子。在此过程中，172nm紫外光子与空气中的氧气反应生成活性氧和臭氧，臭氧进一步分解产生更多的活性氧。这些活性氧分子通过氧化反应与分解后的有机分子作用，生成可挥发的氧化物，从而完成表面清洁。172nm高能紫外设备能够高效去除表面有机污染物，且不会对基材表面造成损害，实现非破坏性清洁。

此外，通过精确控制光强，172nm高能紫外设备还能够实现基材表面纳米级的改性以及光固化。

172nm紫外线PET光清洗模组

172nm紫外线（PET）光清洗模组专为薄膜基材（如PIPET）表面纳米级有机污染物清洗设计利用172nm紫外光的高能光子作用，有效去除表面残留有机杂质，提升后续真空镀膜贴合涂布等工艺良率广泛应用于光电子柔性显示半导体光学薄膜及电子器件制造等行业，尤其适用于高洁净度高附着力要求的表面处理工序

172nm光改性模组

广明源172nm光改性模组，专为牙科种植体活化亲水仪设计，主要用于真空环境中对材料表面进行改性。该模组通过172nm准分子光催化技术，有效激活种植体表面的亲水性，清除钛金属表面的碳氢化合物，从而增强TiO2的生物活性。广明源172nm光改性模组，具备高能量密度、低反应温度、反应时间短以及覆盖面积大且均匀等优势。

172nmTOC降解模块（带套管）

广明源172nm紫外氧化技术采用无汞紫外光源，高效激发自由基，将水中有机物快速氧化为CO2和H2O，显著降低TOC至ppb级本模块专为超纯水系统开发，适用于半导体医药生物制药精密电子及生化实验室超纯水系统，满足对超纯水的TOC降解应用模块化结构设计，便于维护更换与系统扩展，同时可按需定制不同功率与流量规格